近日，果果仪器向陕西省某高校交付 ECH400V 型真空探针冷热台。该设备配合真空泵使用，适用于半导体二维材料器件的电学性能检测，涵盖硅基底、云母基底、玻璃基底等多类样品。
设备适配现场
针对二维材料对水氧及杂质高度敏感、测试难度大的行业痛点，该设备通过优化研发与测试，配合二维材料专用附件，实现全温区高精度温控：在-190℃~300℃温度范围内，经50倍光学显微镜观测，样品无结霜、无变色现象，有效解决了二维材料测试的行业难题。
真空环境下，RT~-190℃降温曲线
真空环境下，RT~400℃升温曲线
产品主要技术参数：
1、冷热方式：液氮致冷，电阻加热
2、温控范围：-190~600℃（真空下：-190~400℃）
3、温度稳定性：±0.1℃（-120~-190℃：±0.3℃）
4、控温速率：最大升温速率：150℃/min；最大降温速率：40℃/min
5、光路：反射
6、视窗尺寸：φ25mm*1mm
7、视窗材质：石英玻璃 JGS2（透射波段范围 220nm~2500nm），可手动拆卸更换
8、视窗除霜：配吹气支架，低温下液氮尾气吹拂除霜
9、视窗上表面到载样台的距离：7.5mm
10、样品腔高度：6.5mm
11、探针：固定式探针座*4+钨钢镀金探针*4
12、探针接口：BNC*4
13、样品台面电位：接地
14、载样台：银质；23*23mm
15、腔室：真空腔室，机械泵真空度≤1Pa
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